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集微网消息，近日，有投资者在投资者互动平台提问：请问贵公司半导体设备如真空机械手、集束设备、晶圆传送模组、真空传输平台及其他刻蚀成膜乙艺设备等，是否自主研发、自主可控，是否实现了被国外少数半导体设备公司产品的替代?

机器人(300024.SZ)4月19日在投资者互动平台表示，公司在半导体装备业务方面的产品包括大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台，服务的下游行业是半导体工艺设备厂商。公司在真空机械手方面，两轴真空直驱机械手产品已实现小批量、多批次应用在客户端；三轴真空直驱机械手产品处于客户端验证阶段，其结合全新控制器软硬件平台的应用，可支撑下游客户的长期应用；四轴真空直驱机械手产品处于研发阶段。目前，公司已成功研发多款新型双臂真空机械手，部分产品已进入客户端验证阶段。

截至发稿，机器人市值为178.58亿元，股价为11.52元/股，较前一日收盘价下跌0.52%。